Enkozesa Entongole ey’Eby’okwoza Plasma

Ebyuma ebiyonja/okukuba pulasima bikola pulasima nga biteeka obusannyalazo bubiri mu kibya ekissiddwa okukola ekifo ky’amasannyalaze. Pampu ya vacuum ekozesebwa okukuuma omutindo gwa vacuum ogugere. Gaasi bwe yeeyongera okubeera omutono, ebanga wakati wa molekyo n’okutambula okw’eddembe okwa molekyo oba ayoni nalyo lyeyongera. Nga zifugibwa ekifo ky’amasannyalaze, ayoni zino zitomeragana ne zikola pulasima. Ayoni zino zikola nnyo, nga zirina amaanyi agamala okumenya kumpi enkolagana zonna eza kemiko, ne zireeta ensengekera za kemiko ku ngulu yonna erabika. Plasma za ggaasi ez’enjawulo zirina eby’obutonde eby’enjawulo. Okugeza, pulasima ya oxygen ekola oxidizing nnyo, esobola oxidizing photoresist okukola ggaasi, bwe kityo ne kituuka ku kikolwa eky’okwoza. Plasma ya ggaasi akulukuta erina anisotropy ennungi ennyo, etuukana n’ebyetaago by’okusiiga. Obujjanjabi bwa plasma buvaamu okumasamasa, era kye kiva kiyitibwa glow discharge.
Enkola y'okuyonja pulasima yeesigamye okusinga ku "kukola" kw'obutundutundu obukola mu pulasima okuggyawo amabala ag'okungulu. Mu nkola y’ensengekera, okutwalira awamu okuyonja pulasima kuzingiramu enkola eno wammanga: ggaasi ezitali za kiramu zisikirizibwa mu mbeera ya pulasima; ebintu ebirimu ggaasi binywezebwa ku ngulu enkalu; ebibinja ebinywezeddwa bikolagana ne molekyo ku ngulu enkalu okukola molekyo z’ebivaamu; molekyu z’ekivaamu zivunda ne zifuuka ekitundu kya ggaasi; era ebisigalira by’ensengekera biggyibwa ku ngulu.

Ekisinga obukulu mu tekinologiya ow’okwoza pulasima kwe kuba nti asobola okulongoosa ekika kyonna ekya substrate, omuli ebyuma, semiconductors, oxides, n’ebintu ebisinga ebya polimeeri nga polypropylene, polyester, polyimide, polyvinyl chloride, epoxy, ne wadde polytetrafluoroethylene. Kisobola okuyonja kungulu kwonna n’ebitundu ebitongole, awamu n’ebizimbe ebizibu.